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脑颅压传感器
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条
面向脑颅压检测的声表面波传感器设计及制作工艺研究
作者：
张兵
来源：
哈尔滨工业大学
年份：
2017
文献类型 ：
学位论文
关键词：
脑颅压传感器
温度系数
机电耦合系数
声表面波
耦合数学模型
SiO
2
镀膜
描述：
面向脑颅压检测的声表面波传感器设计及制作工艺研究
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