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机电耦合系数
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条
面向脑颅压检测的声表面波传感器设计及制作工艺研究
作者:
张兵
来源:
哈尔滨工业大学
年份:
2017
文献类型 :
学位论文
关键词:
脑颅压传感器
温度系数
机电耦合系数
声表面波
耦合数学模型
SiO
2
镀膜
描述:
面向脑颅压检测的声表面波传感器设计及制作工艺研究
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