面向脑颅压检测的声表面波传感器设计及制作工艺研究
日期：2017.01.01 点击数：30
【类型】学位论文
【题名】面向脑颅压检测的声表面波传感器设计及制作工艺研究
【作者】 张兵
【关键词】 脑颅压传感器 温度系数 机电耦合系数 声表面波 耦合数学模型 SiO2镀膜
【学位授予单位】哈尔滨工业大学
【学位年度】2017
【学位名称】博士
【分类号】TP212
【导师姓名】胡泓
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