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面向脑颅压检测的声表面波传感器设计及制作工艺研究: 作者： 张兵 来源：哈尔滨工业大学 年份：2017 文献类型：学位论文 关键词： 脑颅压传感器温度系数机电耦合系数声表面波 耦合数学模型 SiO₂镀膜; 描述：面向脑颅压检测的声表面波传感器设计及制作工艺研究

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